面向MEMS金属微构件的激光微喷丸强化技术

Name: 面向MEMS金属微构件的激光微喷丸强化技术
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Author: plvs32109

上传者：plvs32109 2020-05-18 04:41:19上传 PDF文件 339.02KB 热度 40次

面向MEMS金属微构件的激光微喷丸强化技术，樊玉杰，周建忠，MEMS中的金属微构件由于其特定的工作环境容易引起磨损和疲劳失效，目前对于微结构表面处理提高其使用性能的工艺研究鲜有文献报道�

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