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用干涉显微镜测量薄膜厚度的改进与分析

上传者: 2020-05-15 21:22:16上传 PDF文件 211.54KB 热度 16次
将干涉显微镜的应用推广到透明薄膜厚度的测量,扩展了干涉显微镜的测量范围和应用领域.基于菲涅耳公式,分析了透明薄膜界面的反射.根据白光干涉原理,利用圆形样品台的定量移动,实现了薄膜厚度的测量
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