1. 首页
  2. 行业
  3. 制造
  4. SECSHSMS 底层协议详细文档

SECSHSMS 底层协议详细文档

上传者: 2020-05-14 21:52:56上传 RAR文件 1.97MB 热度 43次
由于国内半导体设备自动化(EAP)发展较晚,和设备通信的SECS协议文档很难找全,很少有详细介绍每个SxFx的功能定义,资源相对缺乏,特贡献半导体详细文档给大家参考。后续会上传一些SECS协议代码及模拟器给大家。如有需要会上传一些协议的讲解供大家学习。
用户评论
码姐姐匿名网友 2020-05-14 21:52:56

还好,不过都别人已上传过的东西,描述不清晰,致使重复下载,浪费积分。