基于新型MEMS三轴加速度传感器的矿震监测系统研究 上传者:一雁酷客 2020-05-14 03:44:23上传 PDF文件 405.52KB 热度 41次 基于新型MEMS三轴加速度传感器的矿震监测系统研究,李朋勃,苏维嘉,微机电系统是指融合了硅微加工,光刻成型和精度机械加工等多种微加工技术制作的微传感器、微执行器和微系统。MMA7260Q是飞思卡尔推� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论