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论文研究基于Si纳米柱阵列的三维高密度电容研究 .pdf

上传者: 2020-05-12 04:29:11上传 PDF文件 681.25KB 热度 8次
基于Si纳米柱阵列的三维高密度电容研究,朱宝,王永平,本文通过对自组装的聚苯乙烯(PS)微球进行反应离子刻蚀(RIE),从而形成特定尺寸的PS微球模板,然后以此为模板对Si衬底进行金属辅
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