论文研究基于Si纳米柱阵列的三维高密度电容研究 .pdf 上传者：Xieminsen 2020-05-12 04:29:11上传 PDF文件 681.25KB 热度 37次 基于Si纳米柱阵列的三维高密度电容研究，朱宝，王永平，本文通过对自组装的聚苯乙烯（PS）微球进行反应离子刻蚀（RIE），从而形成特定尺寸的PS微球模板，然后以此为模板对Si衬底进行金属辅 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
