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尘埃粒子在双频容性耦合等离子体鞘层中的充电和悬浮

上传者: 2020-05-08 10:13:48上传 PDF文件 557.5KB 热度 19次
尘埃粒子在双频容性耦合等离子体鞘层中的充电和悬浮,刘禹,王友年,利用自洽的无碰撞鞘层的流体模型,研究了单个尘埃粒子在双频容性耦合等离子体(DF-CCP)鞘层中的运动特性,分析了尘埃粒子携带的电
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