陀螺仪相关概述

陀螺仪的相关问题MEMS陀螺仪具有体积小、成本低等特点，在军事、民用领域有着广泛的应用前景[1]。它作为一种高精密的元件，应用起来具有广泛性、特殊性、复杂性，使得其封装形式与IC封装有很大不同。我们都希望MEMS陀螺仪具有较高的品质因数Q和较长的使用寿命，在实际应用中，我们对MEMS器件进行真空封装，给memes器件提供真空环境，从而使运动部件收到较小的空气阻尼。但是真空封装技术的研究明显滞后于memes陀螺仪的设计与制造技术，封装在MEMS产品总费用中占据70％～80％，真空封装技术已成为MEMS生产中的瓶颈，使得许多MEMS陀螺仪没有得到实际应用，限制了MEMS的发展[