论文研究Control technique of Sapphire roughness in CMP processing.pdf 上传者：qq349925728 2020-05-07 09:49:56上传 PDF文件 308.88KB 热度 23次 蓝宝石CMP工艺中粗糙度的控制技术，刘玉岭，檀柏梅，蓝宝石是第三代半导体材料氮化镓的主要衬底材料，蓝宝石的表面质量直接影响器件的性能。本文对蓝宝石衬底CMP进行了研究，分析了影 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 qq349925728 资源：19471 粉丝：3 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
