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多构型纳米结构阵列可控制备技术

上传者: 2020-05-04 07:07:07上传 PDF文件 500kb 热度 15次
多构型纳米结构阵列可控制备技术,邸荻,吴学忠,通过旋涂法在单晶硅片上制备了二氧化硅单层有序胶体晶体,利用氧等离子体的选择性刻蚀制备了大小、间距可控的二氧化硅纳米颗粒阵
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