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SOI自加热效应研究进展

上传者: 2020-04-29 06:48:14上传 PDF文件 762.67KB 热度 19次
SOI自加热效应研究进展,郑晓虎,黄安平,随着绝缘体上硅(SilicononInsulator简称SOI)技术的不断发展,SOI器件的自加热效应得到了广泛的关注。通过各种软件模拟及相关实验,SOI器
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