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液相外延生长GaAs微探尖的质量改进

上传者: 2020-04-26 02:09:15上传 PDF文件 827.69KB 热度 21次
液相外延生长GaAs微探尖的质量改进,许育波,梁秀萍,本文对比了两种在选择性液相外延生长GaAs微探尖结束后使生长液与衬底脱离的方法:平推法和旋转石墨舟法。利用扫描电子显微镜对两�
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