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Al2O3涂层反应标准自由能变化的计算及其绘图

上传者: 2020-04-22 19:23:31上传 PDF文件 206.84KB 热度 32次
Al2O3涂层反应标准自由能变化的计算及其绘图,刘沙,张静秋,本文以化学气相沉积法制备Al2O3涂层的反应为实例,建立了Al2O3涂层反应的标准自由能变化的计算模型,应用所开发的计算和绘图程序,�
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