1声学MEMS设计工具Tanner软件及应用.pdf

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Author: gugouo

上传者：gugouo 2020-04-20 06:18:52上传 PDF文件 6.62MB 热度 41次

以MEMS硅麦为例子，对TannerMEMS进行简介，然后讲述在声学MEMS硅麦上Tanner的仿真和使用

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