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TiO2薄膜表面的水、油浸润改性研究

上传者: 2020-04-01 03:52:56上传 PDF文件 355.13KB 热度 27次
TiO2薄膜表面的水、油浸润改性研究,孙宏达,王波,本文通过磁控溅射在Si衬底上沉积了TiO2薄膜,并利用感应耦合等离子体(ICP)表面化学处理方法,在TiO2薄膜表层覆盖羟基,增强了TiO2薄�
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