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论文研究原子力纳米探针与样品接触电阻研究与应用 .pdf

上传者: 2020-03-05 20:11:27上传 UNKONW文件 500kb 热度 23次
原子力纳米探针与样品接触电阻研究与应用,李剑,,原子力纳米探针(AFP)是用于测试单个器件的一直用有效的失效分析工具,通过与硅圆可接受测试(WAT)数据对比,可以准确判断出器件
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