基于微纳结构电极的超级电容器研究 上传者：jlx31693 2020-02-29 12:00:57上传 PDF文件 638.72KB 热度 59次 基于微纳结构电极的超级电容器研究，王晓峰，尤政，微型超级电容器是一种基于MEMS微加工工艺和电化学赝电容原理的微型储能器件。通过光刻、感应耦合等离子体刻蚀（ICP）和溅射等MEMS微� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
