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Dynamic Characteristics of Aerostatic Bearings in Precision Stage

上传者: 2020-02-28 23:38:20上传 PDF文件 500kb 热度 18次
精密运动平台的气浮轴承动力学特性研究,叶燚玺,陈学东,本文以具有真空预紧装置和环形气浮轴承的精密运动平台为分析对象,对其动力学特性开展了相关的研究。建立了气浮轴承的气域模型并
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