论文研究飞秒激光单次扫描在硅内部制作高纵横比的狭槽 .pdf
飞秒激光单次扫描在硅内部制作高纵横比的狭槽，任海，马云灿，本文介绍了利用中心波长为800nm的飞秒激光以单次扫描的方式，分别在去离子水环境和空气环境中对单晶硅片进行微纳加工，并在其内�
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