论文研究基于电荷特性的互连线电容测试与仿真 .pdf
基于电荷特性的互连线电容测试与仿真，朱辉，，本文通过CBCM基本原理和测试结构的介绍，阐述了精确计算互连线电容的方法。通过Raphael软件的仿真和对互连线剖面所做的SEM分析，完整�
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