电子回旋共振放电的理论、计算机模拟进展 上传者：ntu69527 2020-02-14 03:20:07上传 PDF文件 460KB 热度 35次 电子回旋共振放电的理论、计算机模拟进展，杨中海，金晓林，近年来，因电子回旋共振（ECR）等离子体具有低气压、高密度、高电离度等优势而被广泛地应用于微电子工业中，并吸引了众多学者� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
