大行程纳米定位系统若干关键技术研究

大行程纳米定位系统若干关键技术研究 大行程纳米定位系统的硬件构成是实现大行程纳米定位的基础，同时也决定了控制方法、误差补偿等相关软件的编制。根据第一章的论述可知，实现大行程纳米定位的方式很多，因此本章首先进一步对它们作较为详尽的对比分析，而后构建本论文实验所用的定位系统，并阐述其工作原理，最后介绍用于对定位误差进行测量和精度标定的激光干涉测量系统。