干涉图处理中的关键技术

干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。现代干涉测量技术具有高精度、非接触性等的测量优点。干涉图的处理是干涉测试中的重要环节，本文对干涉测量术中干涉图处理的关键技术进行了总结，把干涉图处理的关键技术归纳为：去除噪声、边缘提取、区域延拓以及相位解包算法。运用这些关键技术编制算法处理软件，可实现对干涉图的处理，从而获得被测物的面形分布，实现对被测物的自动化测量。本文采用这些算法测量薄膜样片的厚度与ZYGO干涉仪测试结果比较，PV误差为0.0364λ，RMS最大误差为0.002λ，说明运用该算法虽然处理的是单幅干涉图但可以得到相当高的测量精度。