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国内外MEMS惯性传感器的现状及发展趋势

上传者: 2018-12-27 13:30:09上传 DOC文件 212KB 热度 34次
国内外MEMS惯性传感器的现状及发展趋势,介绍了国内外的MEMS技术及未来发展趋势。
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