污染引起的问题总结

这四种污染物(1. 微粒 2. 金属离子 3. 化学物质 4. 细菌 )在以下三个特定的功能领域对工艺过程和器件产生影响。它们是: 1. 器件工艺良品率 2. 器件性能 3. 器件可靠性 器件工艺良品率 在一个污染环境中制成的器件会引起多种问题。污染会改变器件的尺寸,改变表面的洁净度,并且/或者造成有凹痕的表面。在晶片生产的过程中,有一系列的质量检验和检测,他们是为检测出被污染的晶片而特殊设计的。高度的污染使得仅有少量的晶片能够完成全工艺过程,从而导致成本升高。 器件效能 一个更为严重的问题是在工艺过程中漏检的小的污染。晶片看起来是干净的,但其中的未能检测出来的颗粒,不需要的化学物质,和/或高