基于PC平台的高精度激光微加工系统的研制

介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响。将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工。其次使用了一种位置比较脉冲的光机同步技术，使得激光脉冲在空间上均匀分布，改善了加工效果。最后在系统中加入了路径规划、实时监测及同步显示等功能，实现系统加工线宽达到3.64μm，绝对定位精度小于1μm的激光微加工