基于表面微加工的谐振加速度计

Name: 基于表面微加工的谐振加速度计
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Author: duoleimimi

上传者：duoleimimi 2019-09-18 11:11:13上传 DOC文件 532.5KB 热度 50次

讨论了基于集成表面微操作的谐振加速度计的设计与测试

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基于表面微加工的谐振加速度计

讨论了基于集成表面微操作的谐振加速度计的设计与测试

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