论文研究基于显微图像处理的MEMS器件运动轨迹获取 .pdf 上传者:CSDN阿坤 2019-09-10 09:56:06上传 PDF文件 559.89KB 热度 49次 基于显微图像处理的MEMS器件运动轨迹获取,赵新,郭春艳,MEMS的运动测量始终是MEMS研究中的难点,基于显微图像处理的测量方法是一种既直观,又简单有效的方法。本文以微加速度计为例,首先� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论