芯片制造 半导体工艺制程实用教程 第6版 PeterVanZant 著韩郑生 译 最完整 最清晰

半导体集成电路和器件制造技术的专业书籍，在半导体领域享有很高的声誉。讨论范围包括半导体工艺的每个阶段：从原材料的制备到封装、测试和成品运输，以及传统的和现代的工艺。全书提供了详细的插图和实例，每章包含回顾总结和习题，并辅以丰富的术语表。第六版修订了微芯片制造领域的新进展，讨论了用于图形化、掺杂和薄膜步骤的先进工艺和尖端技术，使隐含在复杂的现代半导体制造材料与工艺中的物理、化学和电子的基础信息更易理解。最完整最清晰