c# SECS HSMS编程
关于半导体SEMI SECS SECS-I SECS-II GEM HSMS的一个程序，采用SEMI E37的协议规格编程，来完成和半导体生产设备的通讯
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用户评论
好的，UC欧不错
缺CHSCS.dll
好好 东西给不错
用不了，缺少关键文件
下载研究研究
还不错谢谢分享！
c#做的程序源码，参考了
这是骗人的吧,怎么不能用啊.没办法打开
不能用，浪费