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SECSGEM300mm半導體設備軟體標準

上传者: 2019-07-13 17:12:13上传 PDF文件 593KB 热度 39次
全中文台灣工研院發表的文章300mm是比較難完成的GEM協定給各位參考
用户评论
码姐姐匿名网友 2019-07-13 17:12:13

文档比较简单,没有实际内容,只有process control的一些框架简介。

码姐姐匿名网友 2019-07-13 17:12:13

sesc协议,Good!

码姐姐匿名网友 2019-07-13 17:12:13

还可以,中文的简介,好理解些。

码姐姐匿名网友 2019-07-13 17:12:13

12"wafer是目前的主流,此文件有相當的幫助。

码姐姐匿名网友 2019-07-13 17:12:13

sesc协议,很好的资料