TCAD silvaco教程

用于器件、工艺等仿真.Atlas器件仿真模块可以仿真半导体器件的电学、光学以及热学的特性，提供了基于物理模块化的可扩展的平台，在此基础在上可以分析和仿真二维或者三维器件的直流，交流，光-电，电-光转换等特性。同时Atlas可以在DeckBuild交互式的运行环境中，可以对工艺仿真，也可以对器件参数进行提取和对器件建模等，功能十分强大。