MEMS accelerometer

Name: MEMS accelerometer
Rating: 4.5 (57 reviews)
Author: 什么鬼东西

上传者：什么鬼东西 2019-05-27 13:04:23上传 PDF文件 1019.19KB 热度 57次

Amonolithiccapacitivetriaxialaccelerometerusingahighlysymmetricquad-beamstructurewithasingleseismicmassisdeveloped.Thestructureoftheaccelerometerisanalysedindetailtheoreticallyandnumerically.

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