X波段高功率T/R组件的设计与制作

0 引 言 随着电子技术的发展,对现代有源相控阵雷达的要求越来越高,而T/R组件是构成有源相控阵雷达的部件之一,因此对T/R组件的各个性能提出了更高的要求。同时微电子技术和MMIC电路的发展为T/R组件的设计提供了良好的基础,当前组件技术的发展趋势是在利用HTCC,LTCC等多层微带基板的基础上,集成了一片或数片多功能MMIC电路,再经过微电子互连而成。而这种组件具有体积小、重量轻、性能指标高、一致性好的特点。 在数量相同的一组T/R组件中合成发射功率越大,其雷达照射的范围则越大,所以研究高功率T/R组件显得非常重要。而在T/R组件设计时,关键的是功率放大模块。该组件运用了混合集成