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VLSI失效分析技术研究进展

上传者: 2018-12-20 06:52:59上传 PDF文件 456.66KB 热度 22次
根据近年来的实践.介绍r亚微米,深亚微米多层布线结构的VLSI的失效分析的关键技术和加快失效分析程序的方法 包括:先进的芯片剥层技术和局部剖切面技术、以失效分析为目的的电测试技术和故障定位技术及其简化方法。通过一些失效分析实例说明了研究上述关键技术的有效性。
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