一种光束间不平行角度的补偿方法

发明提供一种光束间不平行角度的补偿方 法，该方法应用于光刻机系统，该光刻机系统包括 基底台、第一方向干涉仪和与该第一方向垂直的 第二方向干涉仪，包括：该基底台沿着该第一方 向步进，由该第一、第二方向干涉仪同步测量，得 到该第一方向干涉仪光束间不平行角度；该基底 台沿着该第二方向步进，由该第一、第二方向干涉 仪同步测量，得到该第二方向干涉仪光束间不平 行角度；分别补偿该第一方向干涉仪和该第二方 向干涉仪光束间不平行角度。本发明通过补偿干 涉仪光束间的不平行角度，得到正确的长条镜面 形，进而对测量位置进行面形补偿，提高基底台控 位准确性，提高光刻机系统的精度。