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论文研究基于Fab环境掩模版静电破坏影响因素的研究 .pdf

上传者: 2020-01-02 23:13:37上传 PDF文件 579.03KB 热度 57次
基于Fab环境掩模版静电破坏影响因素的研究,顾婷婷,,本文自主设计了一组测试图形并制作相应的测试用掩模版,用于研究掩模版静电破坏的影响因素。通过模拟测试得出Mask上ESD缺陷高风险��
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