论文研究基于DRIE工艺的静电梳齿稳定性分析 .pdf 上传者：aishangjiajiaolaoshi 2020-01-01 01:15:22上传 PDF文件 293.78KB 热度 31次 基于DRIE工艺的静电梳齿稳定性分析，徐国栋，张宏群，实际体硅DRIE工艺刻蚀的梳齿结构存在微小的角度偏移，导致了基于理想刻蚀结构的静电梳齿稳定性分析存在很大误差。本文分别建立了�� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 aishangjiajiaolaoshi 资源：19607 粉丝：2 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
