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论文研究Control technology of pore dimension in the photoelectrochemical etching for

上传者: 2020-01-01 01:15:16上传 PDF文件 409.3KB 热度 31次
高长径比宏孔硅阵列光电化学腐蚀中孔径控制技术,王国政,王蓟,高长径比宏孔硅阵列(MSA)在光子晶体、硅微通道板、MEMS器件等领域应用前景广阔,引起人们广泛关注。为制备理想的MSA结构,本文开�
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