半导体材料单晶炉衬底激光定向单晶硅生长制造工艺流程专用设备单晶炉导流筒热屏碳毡优化模拟机械结构多晶硅铸锭炉单晶炉结构.zip 较为详细的单晶炉相关资料。 关键字:半导体,材料,单晶,单晶炉,衬底,激光定向,单晶硅,单晶硅生长,... 大小:45.79MB | 2020-07-17 18:46:40