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64×64点阵达曼光栅的设计与实现

上传者: 2021-04-23 02:16:54上传 PDF文件 102KB 热度 12次
分析了偶数点阵达曼光栅的设计原理与特性。利用数值优化方法,获得了一组64×64点阵达曼光栅解。光栅模版用电子束制版法制成,其最细线宽为2.5μm。用光刻法实现了这一位相光栅,并比较了不同位相光栅制作法的优缺点。原子力显微镜测得的光栅深度曲线与64×64点阵实验结果表明,此光栅结果接近理论值。
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用户评论
码姐姐匿名网友 2025-03-26 23:31:04

作者对此领域有着扎实的理论基础,无论是对理论原理的解析还是实际应用的探索都非常深入。

码姐姐匿名网友 2025-03-26 19:30:37

简洁明了地阐述了达曼光栅的原理和应用,易于理解。

码姐姐匿名网友 2025-03-27 02:36:01

文章切实考虑到实际操作中可能遇到的问题,并提供了解决方案,非常贴心。

码姐姐匿名网友 2025-03-26 15:28:32

不仅介绍了材料和工具的选择,还提供了落地实施方案,非常用心。

码姐姐匿名网友 2025-03-26 11:23:00

文件结构清晰,表达清楚,使得读者能够轻松掌握关键概念。