中国MEMS研究与开发进程

王立鼎大连理工大学微系统研究中心 大连 116023微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化,因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义,13年来中国MEMS研发的总体概况,以及关注的热点。 Research and Development of MEMS in China Wang Liding,Luo Yi (MEMS Research