电源技术中的智能功率电路

智能功率电路是指在一个芯片上把电压的CMOS的VLSI CPU、逻辑电路和模拟电路和高压功率器件集成在一起。目前,智能功率电路的集成度还很低,只是几个逻辑电路和高压功率器件集成在一起。SOI衬底可以灵活的把双极性器件、高压器件、低压器件、SOI器件或其它器件集成在同一个芯片上。图1.28[45]给出了一个改进后的智能功率电路的工艺流程。 图1.28 键合智能功率电路 (1)在低掺杂的n-硅片上局部腐蚀,形成深度~3μm的浅槽,离子注入在浅槽的底部的下面形成N+的掩埋层。接着,热氧化使硅片的表面生长一层厚度大于2μm的氧化层。 (2)抛去氧化后硅片表面的氧化层,得到一个足够光滑平整的抛光面。