激光对毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源的作用
极紫外光刻技术(EUVL)利用波长为13.5 nm 的极紫外(EUV)光源,可以轻松突破30 nm 技术节点而实现大规模工业生产。毛细管放电直接将电能转换成等离子体的极紫外辐射能,具有较高的能量转换效率。毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源利用激光等离子体(LPP)的热膨胀力与三束等离子体所受的洛仑兹力相互作用,耦合出较大面积的极紫外辐射区,从而在满足用光要求的前提下大幅度地降低毛细管放电的重复频率,有利于光刻生产。在实现三对电极同时放电以及放电与激光同步触发的基础上,探讨了激光对耦合光源所起的作用。实验发现位置耦合对极紫外光源的影响很小,激光等离子体引起的动力耦合成为问题的关键,有待于逐步解
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用户评论
我测试是可用的
与（1/2）配合，很好的资源，经过漫长的编译，OK
完整可以编译
文件1损坏了~
我下了，但没有用起来啊
文件1可以用，我已经解压过了，是好的，两个文件一块解压。