滤波器设计

基于电感膜片矩形波导滤波器设计方法和加工流程，设计了一个220GHz带通滤波器。滤波器采用玻璃片—硅片—陶瓷片结构，由硅片形成电感膜片结构，玻璃片、陶瓷片键合在硅片上形成闭合的谐振腔，采用集成电路的制作工艺，在加工前分析了工艺特性，优化了滤波器尺寸，避免工艺对滤波器关键尺寸的影响。采用信号源、功率计进行测试，测试结果表明，滤波器在220GHz具有通带特性，带内损耗约为7dB。